雙電機驅(qū)動、雙光柵反饋；
載荷大、精度高；
適用于生物基因測序、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、等高端行業(yè)。
GLMT-XY超高精度直線電機平臺
下軸配備雙直線電機驅(qū)動、搭配雙光柵閉環(huán)反饋；
采用大理石作為基座,穩(wěn)定性好、強度大、硬度高，在重負荷下保持高精度，抗磁，使用壽命長；
適用于生物基因測序、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、等高端行業(yè)。
| 參 數(shù) | GLMT-XY-250*250 | -360*360 |
| 有效行程 mm | 250*250 | 360*360 |
| 光柵分辨率 nm | sin\cos 4.88nm（可選其它更高分辨率） | |
| 重復定位精度 μm | ±0.3 | |
| 定位精度 | ±1μm/100mm | ±1.5μm/100mm |
| 平面度 μm | ±2 | ±3 |
| 直線度 μm | 1.5 | 1.5 |
| 電機類型 | 三相無鐵芯直線電機 | |
| 上軸電機推力 | 持續(xù)220N 峰值440N | |
| 下軸電機推力 | 持續(xù)330N*2 峰值660N*2 | |
| 最大速度 m/s | 500mm/s | |
上軸空載加速度 g | 4.5G | |
| 下軸空載加速度 g | 3G | |
| 最小步長 nm | 10nm（搭配nanopwm或者線性驅(qū)動器） | |
| 最大負載 kg | 15 | 30 |
