采用增量式光柵,精度高
采用交叉導(dǎo)軌,剛度強(qiáng),高負(fù)載,高導(dǎo)向精度
適用于:醫(yī)藥行業(yè), 激光切割, 生物技術(shù), 計(jì)量, 激光打標(biāo)
LMT-XY直線平臺(tái)
具有精度高、剛性高、負(fù)載大、導(dǎo)向性高;
增量式光柵采用非接觸式安裝,非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對(duì)測(cè)量造成影響;
交叉式導(dǎo)軌,減少摩擦,讓運(yùn)行更平滑,防止蠕變。
參 數(shù) | LMT-XY-100*100 | -200*200 |
有效行程 mm | 100*100 | 200*200 |
光柵分辨率 nm | sin\cos 4.88nm(可選其它更高分辨率) | |
重復(fù)定位精度 μm | ±0.3 | |
定位精度 | ±1μm/100mm | |
平面度 μm | 6 | 8 |
直線度 μm | 1 | 1.5 |
電機(jī)類型 | 三相無鐵芯直線電機(jī) | |
電機(jī)推力 | 持續(xù)40N/峰值90N | 持續(xù)60N/峰值210N |
最大速度 m/s | 500mm/s | |
最小步長(zhǎng) nm | 10nm(搭配nanopwm或者線性驅(qū)動(dòng)器) | |
最大負(fù)載 kg | 15 | 30 |