采用增量式數(shù)字光柵,精度高;
采用交叉導軌,剛度強,高負載,高導向精度;
Z軸采用音圈電機驅(qū)動,兩個組合,結(jié)構(gòu)緊湊;
適用于:半導體檢測行業(yè), 激光切割, 生物技術(shù), 計量, 激光打標。
LMT-XYZ一體式直線平臺
具有精度高、剛性高、負載大、導向性高;
增量式光柵采用非接觸式安裝,非線性效應(yīng)、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響;
交叉式導軌,減少摩擦,讓運行更平滑,防止蠕變;
在原有的XY平臺上直接搭載音圈Z軸,結(jié)構(gòu)更緊湊,滿足客戶更多元的使用需求。
參 數(shù) | LMT-XY-200*200 | NFZ10 | ABVT-Z20(氣浮導軌) |
有效行程 mm | 200*200 | 10 | 10 |
光柵分辨率 nm | 默認100nm數(shù)字量(可選1vpp模擬量或者其他分辨率) | 1vpp細分至5nm | |
重復(fù)定位精度 μm | ±0.3 | ||
定位精度μm | ±1 | ±0.5 | ±0.5 |
平面度 μm | 10 | 8 | 5 |
直線度 μm | 1 | 1.5 | 1 |
電機類型 | 三相無鐵芯直線電機 | 音圈電機 | 音圈電機 |
電機推力 | 持續(xù)60N/峰值210N | 持續(xù)30N/峰值90N | 持續(xù)27N/峰值119N |
最大速度 mm/s | 500 | 50 | 30 |
最小步長 nm | 200 | 200 | 100 |
最大負載 kg | 5(Z軸帶氣動恒力平衡配重) |