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LMT-XYZ一體式高精度直線平臺

采用增量式數(shù)字光柵,精度高;

采用交叉導軌,剛度強,高負載,高導向精度;

Z軸采用音圈電機驅(qū)動,兩個組合,結(jié)構(gòu)緊湊;

適用于:半導體檢測行業(yè), 激光切割, 生物技術(shù), 計量, 激光打標。


LMT-XYZ一體式直線平臺

具有精度高、剛性高、負載大、導向性高;

增量式光柵采用非接觸式安裝,非線性效應(yīng)、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響;

交叉式導軌,減少摩擦,讓運行更平滑,防止蠕變;

在原有的XY平臺上直接搭載音圈Z軸,結(jié)構(gòu)更緊湊,滿足客戶更多元的使用需求。



參     數(shù)
LMT-XY-200*200NFZ10
ABVT-Z20(氣浮導軌)
有效行程 mm200*2001010
光柵分辨率 nm默認100nm數(shù)字量(可選1vpp模擬量或者其他分辨率)1vpp細分至5nm
重復(fù)定位精度 μm±0.3
定位精度μm±1±0.5±0.5
平面度 μm1085
直線度 μm1
1.51
電機類型三相無鐵芯直線電機音圈電機音圈電機
電機推力持續(xù)60N/峰值210N
持續(xù)30N/峰值90N持續(xù)27N/峰值119N
最大速度 mm/s5005030
最小步長 nm200200100
最大負載 kg5(Z軸帶氣動恒力平衡配重)








LMT-XYZ尺寸圖.jpg