μSCAN系列掃描系統(tǒng)為我司近期推出的高性能一體式系統(tǒng)，整機(jī)采用了高剛性的花崗巖作為底座，配合高性能直線電機(jī)及伺服平臺(tái)，主要用于高精度掃描、加工、檢測(cè)等應(yīng)用。標(biāo)準(zhǔn)行程參數(shù)選擇支持快速出貨，大大減少了客戶自己組合搭配不熟悉導(dǎo)致的組合缺陷及調(diào)試不熟悉導(dǎo)致的性能短板。
μSCAN系列主要特征
?XY軸為U1系列高性能直線電機(jī)平臺(tái)組成（迷宮式密封防護(hù)效果好沒(méi)有易損件和粉塵）
?R軸為高精度扁平化DD馬達(dá)
?Z軸標(biāo)配U3系列高精度伺服電機(jī)平臺(tái)（可選配N(xiāo)FZ240高性能直線電機(jī)平臺(tái)）
?底座為濟(jì)南青或印度黑等高性能石材，精度可選0級(jí)或00級(jí)
?可根據(jù)應(yīng)用要求選配機(jī)架及隔振系統(tǒng)
?XY運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，支持快速啟停、連續(xù)整定應(yīng)用（10kg負(fù)載2mm行程運(yùn)動(dòng)加整定＜30ms（運(yùn)動(dòng)時(shí)間20ms，整定時(shí)間5-8ms））*1
| 規(guī)格\軸（從下往上） | Y軸 | X軸 | R軸 | Z軸 |
| 標(biāo)準(zhǔn)軸型號(hào) | UILM320-XX | U1LM240-XX | DDR224 | U3SVM210-XX |
| 行程 | 100/200/300/400 | 100/200/300/400 | 360° | 50/100/200/300 |
| 光柵分辨率 | 100nm | 100nm | 1sec | — |
| 重復(fù)定位精度 μm | ≤1μm（±0.5） | ≤1μm（±0.5） | ≤1sec | ≤3μm（±1.5） |
最大速度 *2 | 1000mm/s | 1000mm/s | 4rps | 200mm/s |
| 最大負(fù)載 kg | 50kg | 30kg | ||
| 電機(jī)推力 | 220N/440N（峰值） | 330N/660N（峰值） | 20Nm | — |
| 運(yùn)動(dòng)平面度 um | ≤±5μm | ≤±5μm | ≤5μm | ≤±5μm |
