采用并聯(lián)結(jié)構(gòu)方式,三軸驅(qū)動(dòng)共同控制同一平臺(tái),可實(shí)現(xiàn)負(fù)載的精準(zhǔn)定位和移動(dòng)
TR23軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
是我司的特色產(chǎn)品,相比于其他的高端多自由度平臺(tái),我們具有高性價(jià)比。
三軸采用并聯(lián)結(jié)構(gòu),各軸可配置步進(jìn)電機(jī)或者伺服電機(jī),控制器內(nèi)部特有的控制算法,實(shí)現(xiàn)高精度的控制;
優(yōu)化整體系統(tǒng)的剛性;
平臺(tái)中部可有通光孔徑;
適用于:科研、顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。
規(guī) 格 | 參 數(shù) |
Z軸最大行程 | ±5mm |
Z軸分辨率 | 4.88nm |
Z軸重復(fù)定位精度 | ±0.2μm |
位置穩(wěn)定性 | ±20nm |
最大速度 | 5mm/s |
最大加速度 | 2m/s |
θX/θY最大行程 | ±2.5° |
θ軸分辨率 | 0.15sec |
θ軸重復(fù)定位精度 | ±1sec |
最大速度 | 1°/s |
最大加速度 | 20°/s∧2 |
配重平衡方式 | 氣動(dòng)衡力平衡(最小氣壓0.1MPa最大氣壓0.6MPa) |
最大負(fù)載 | 20kg |