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TR23軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

采用并聯(lián)結(jié)構(gòu)方式,三軸驅(qū)動(dòng)共同控制同一平臺(tái),可實(shí)現(xiàn)負(fù)載的精準(zhǔn)定位和移動(dòng)

TR23軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

是我司的特色產(chǎn)品,相比于其他的高端多自由度平臺(tái),我們具有高性價(jià)比。

三軸采用并聯(lián)結(jié)構(gòu),各軸可配置步進(jìn)電機(jī)或者伺服電機(jī),控制器內(nèi)部特有的控制算法,實(shí)現(xiàn)高精度的控制;

優(yōu)化整體系統(tǒng)的剛性;

平臺(tái)中部可有通光孔徑;

適用于:科研、顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

規(guī)     格

參         數(shù)
Z軸最大行程±5mm
Z軸分辨率4.88nm
Z軸重復(fù)定位精度±0.2μm
位置穩(wěn)定性±20nm
最大速度5mm/s
最大加速度2m/s
θX/θY最大行程±2.5°
θ軸分辨率0.15sec
θ軸重復(fù)定位精度±1sec
最大速度1°/s
最大加速度20°/s∧2
配重平衡方式氣動(dòng)衡力平衡(最小氣壓0.1MPa最大氣壓0.6MPa)
最大負(fù)載20kg


圖片9.png