高定位精度、高速度穩(wěn)定性、
低跳動(dòng)誤差、載荷能力強(qiáng)，
可用于晶圓加工檢測、生物檢測、光學(xué)檢測等高精度要求行業(yè)。
ABRX-M200直驅(qū)氣浮轉(zhuǎn)臺
可側(cè)向放置使用，不會出現(xiàn)氣浮抱死的問題；
采用直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，轉(zhuǎn)矩高，在低速或高速時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)平滑；
氣浮轉(zhuǎn)臺徑向剛度大，可應(yīng)用于曲面微加工或測試，在斷電旋轉(zhuǎn)和自動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)跳動(dòng)誤差保持一致。
| 規(guī) 格 | 參 數(shù) |
| 電機(jī)扭矩 | 0.32Nm額定1.2Nm峰值 |
| 最大轉(zhuǎn)速 | 1000rpm |
| 編碼器線數(shù) | 7200line |
| 編碼器分辨率 | 0.45sec（數(shù)字量對應(yīng)0.1μm，可選1vpp更高分辨率） |
| 重復(fù)定位精度 | ≤±1sec |
| 軸向最大負(fù)載（5bar） | 800N |
| 徑向最大負(fù)載（5bar） | 200N |
| 軸向最大剛性（5bar） | 320N/μm |
| 徑向最大剛性（5bar） | 85N/μm |
| 軸向最大跳動(dòng)* | <100nm |
| 徑向最大跳動(dòng)* | <100nm |
| 綜合耗氣量 | 18NL/min |
