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ABL250-X氣浮平臺(tái)

氣浮平臺(tái)采用氣浮導(dǎo)軌,無(wú)接觸,不摩擦,免維護(hù)、精度高、速度快等有優(yōu)異的特點(diǎn);

此直線平臺(tái)可以按單軸使用,亦可搭配其他軸,組合成多軸平臺(tái)機(jī)構(gòu),

廣泛應(yīng)用于精密加工,測(cè)試測(cè)量,掃描、半導(dǎo)體等行業(yè)。



ABL250-X系列氣浮平臺(tái)相較于前兩種經(jīng)濟(jì)型磁力預(yù)載氣浮臺(tái),體積更小,精度更高;

采用氣浮導(dǎo)軌+直線電機(jī)+光柵尺反饋組合而成;

特點(diǎn):精度高、速度快、載荷相對(duì)較大、直線度和平面度高。

只要?dú)庠吹燃?jí)達(dá)到,非常適用于無(wú)塵室環(huán)境中



參     數(shù)
ABL250-100-200-300
-400-500
-600
有效行程 mm100200300400500600
光柵分辨率 μm5nm(模擬量)可選配其他型號(hào)光柵分辨率
重復(fù)定位精度 nm±50±50±100±150±200±250
定位精度2μm/100mm(校準(zhǔn)后可小于0.3μm/100mm)
平面度 μm±0.4±0.6±1
±1.5
直線度 μm±0.4±0.5±0.6±0.75±1±1.5
最大速度 mm/s2m/s
最大加速度(空載)2G
水平負(fù)載 kg35kg
水平負(fù)載 kg20kg





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