氣浮平臺(tái)采用氣浮導(dǎo)軌,無(wú)接觸,不摩擦,免維護(hù)、精度高、速度快等有優(yōu)異的特點(diǎn);
此直線平臺(tái)可以按單軸使用,亦可搭配其他軸,組合成多軸平臺(tái)機(jī)構(gòu),
廣泛應(yīng)用于精密加工,測(cè)試測(cè)量,掃描、半導(dǎo)體等行業(yè)。
ABL250-X系列氣浮平臺(tái)相較于前兩種經(jīng)濟(jì)型磁力預(yù)載氣浮臺(tái),體積更小,精度更高;
采用氣浮導(dǎo)軌+直線電機(jī)+光柵尺反饋組合而成;
特點(diǎn):精度高、速度快、載荷相對(duì)較大、直線度和平面度高。
只要?dú)庠吹燃?jí)達(dá)到,非常適用于無(wú)塵室環(huán)境中
參 數(shù) | ABL250-100 | -200 | -300 | -400 | -500 | -600 |
有效行程 mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 |
光柵分辨率 μm | 5nm(模擬量)可選配其他型號(hào)光柵分辨率 | |||||
重復(fù)定位精度 nm | ±50 | ±50 | ±100 | ±150 | ±200 | ±250 |
定位精度 | 2μm/100mm(校準(zhǔn)后可小于0.3μm/100mm) | |||||
平面度 μm | ±0.4 | ±0.6 | ±1 | ±1.5 | ||
直線度 μm | ±0.4 | ±0.5 | ±0.6 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 |
最大速度 mm/s | 2m/s | |||||
最大加速度(空載) | 2G | |||||
水平負(fù)載 kg | 35kg | |||||
水平負(fù)載 kg | 20kg |