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ABT-XY-360360超高精度直線平臺(tái)

下軸采用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)、載荷大,

平臺(tái)采用氣浮導(dǎo)軌,無(wú)接觸,不摩擦,少維護(hù),速度快、剛性好,

采用納米級(jí)光柵反饋,控制精度高。


ABT-XY-360360超高精度直線平臺(tái)有普通材質(zhì)版和陶瓷版兩種。

兩種材質(zhì)的平臺(tái),下軸皆采用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)、載荷大;

平臺(tái)采用氣浮導(dǎo)軌,無(wú)接觸,不摩擦,少維護(hù),速度快、剛性好;

采用納米級(jí)光柵反饋,控制精度高;

陶瓷版本采用了高純度的氧化鋁作為氣浮結(jié)構(gòu)件及導(dǎo)向原件,相對(duì)于花崗巖和金屬而言,氧化鋁陶瓷具有膨脹系數(shù)更小,且直線度、硬度、耐磨性更加的優(yōu)點(diǎn)。


參     數(shù)
普通版陶瓷版
有效行程 mm360*360
光柵分辨率 nmsin\cos 4.88nm(可選其它更高分辨率)
重復(fù)定位精度 μm±0.15±0.1
定位精度 μm±0.5±0.3
平面度 μm±1±0.5
直線度 μm1.5
1
電機(jī)類(lèi)型三相無(wú)鐵芯直線電機(jī)
上軸電機(jī)推力持續(xù)90N 峰值310N
下軸電機(jī)推力持續(xù)219N*2  峰值750N*2
最大速度 m/s500mm/s

上軸空載加速度 g

4.5G
下軸空載加速度 g3G
最小步長(zhǎng) nm10nm(搭配nanopwm或者線性驅(qū)動(dòng)器)
最大負(fù)載 kg50








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