下軸采用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)、載荷大,
平臺(tái)采用氣浮導(dǎo)軌,無(wú)接觸,不摩擦,少維護(hù),速度快、剛性好,
采用納米級(jí)光柵反饋,控制精度高。
ABT-XY-360360超高精度直線平臺(tái)有普通材質(zhì)版和陶瓷版兩種。
兩種材質(zhì)的平臺(tái),下軸皆采用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)、載荷大;
平臺(tái)采用氣浮導(dǎo)軌,無(wú)接觸,不摩擦,少維護(hù),速度快、剛性好;
采用納米級(jí)光柵反饋,控制精度高;
陶瓷版本采用了高純度的氧化鋁作為氣浮結(jié)構(gòu)件及導(dǎo)向原件,相對(duì)于花崗巖和金屬而言,氧化鋁陶瓷具有膨脹系數(shù)更小,且直線度、硬度、耐磨性更加的優(yōu)點(diǎn)。
參 數(shù) | 普通版 | 陶瓷版 |
有效行程 mm | 360*360 | |
光柵分辨率 nm | sin\cos 4.88nm(可選其它更高分辨率) | |
重復(fù)定位精度 μm | ±0.15 | ±0.1 |
定位精度 μm | ±0.5 | ±0.3 |
平面度 μm | ±1 | ±0.5 |
直線度 μm | 1.5 | 1 |
電機(jī)類(lèi)型 | 三相無(wú)鐵芯直線電機(jī) | |
上軸電機(jī)推力 | 持續(xù)90N 峰值310N | |
下軸電機(jī)推力 | 持續(xù)219N*2 峰值750N*2 | |
最大速度 m/s | 500mm/s | |
上軸空載加速度 g | 4.5G | |
下軸空載加速度 g | 3G | |
最小步長(zhǎng) nm | 10nm(搭配nanopwm或者線性驅(qū)動(dòng)器) | |
最大負(fù)載 kg | 50 |