采用音圈電機和氣浮導(dǎo)軌,無摩擦運動,具備了氣浮平臺的所有優(yōu)點,
平臺上下移動的平面為水平配置,
剛性優(yōu)異,精度超高。
采用音圈電機和氣浮導(dǎo)軌,無摩擦運動,具備了氣浮平臺的所有優(yōu)點,
平臺上下移動的平面為水平配置,
剛性優(yōu)異,精度超高。
參 數(shù) | ABVT-Z20 | -Z38 |
有效行程 mm | 20 | 38 |
光柵分辨率 μm | sin\cos4.88nm(可選其它更高分辨率) | |
重復(fù)定位精度 nm | ±50 | |
定位精度 nm | ±150 | |
平面度 μm | 1 | 1.5 |
直線度 μm | 0.5 | 0.7 |
電機類型 | 音圈電機 | |
電機推力 | 持續(xù)27N/峰值119N | 持續(xù)45N/峰值192N |
最大速度 mm/s | 50 | |
最小步長nm | 10 (搭配nanopwm或者線性驅(qū)動器) | |
最大負載 kg | 6kg(采用氣動恒力彈簧平衡) |