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ABVT-Z垂直軸氣浮運動平臺

采用音圈電機和氣浮導(dǎo)軌,無摩擦運動,具備了氣浮平臺的所有優(yōu)點,

平臺上下移動的平面為水平配置,

剛性優(yōu)異,精度超高。


采用音圈電機和氣浮導(dǎo)軌,無摩擦運動,具備了氣浮平臺的所有優(yōu)點,

平臺上下移動的平面為水平配置,

剛性優(yōu)異,精度超高。



參     數(shù)
ABVT-Z20-Z38
有效行程 mm2038
光柵分辨率 μmsin\cos4.88nm(可選其它更高分辨率)
重復(fù)定位精度 nm±50
定位精度 nm±150
平面度 μm11.5
直線度 μm0.50.7
電機類型音圈電機
電機推力持續(xù)27N/峰值119N
持續(xù)45N/峰值192N
最大速度 mm/s50
最小步長nm10 (搭配nanopwm或者線性驅(qū)動器)
最大負載 kg6kg(采用氣動恒力彈簧平衡)




圖片20.png