針對超快光學專用優(yōu)化的延遲位移臺 Thorlabs和newport平替版本 匹配專用控制器可快速設置單程、雙程或四程光學延遲
| 參 數(shù) | DLS-X225 | DLS-X325 |
| 有效行程 mm | 225 | 325 |
| 光柵分辨率 μm | 默認50nm絕對值 | |
| 重復定位精度 μm | ±150nm | |
| 定位精度 | ±500nm（干涉儀校準） | |
| 平面度 | ≤±2.5um | ≤±3.5um |
| 直線度 | 1.5um | 2um |
| 電機推力 | 額定8.9N/峰值44N | |
| 最大速度 m/s | 300mm/s | |
| 最大加速度 | 1000mm/s2 | |
| 最大負載 kg | 2 | |
俯仰（pitch） | ±20sec（±100urad） | ±30sec（±150urad） |
偏擺（yaw） | ±18sec（±90urad） | ±24sec（±120urad） |
| 原點重復性 | 100nm | |
