體積小巧、動(dòng)態(tài)優(yōu)異、超高精度、免維護(hù)、壽命長(zhǎng)
MMS42系列微型直線平臺(tái)：
采用了特殊定制的音圈電機(jī)，結(jié)合高分辨率光柵和精密交叉滾柱導(dǎo)軌,
特別適合一些對(duì)體積非常敏感的應(yīng)用場(chǎng)景；
采用靜音防蠕動(dòng)導(dǎo)軌，可確保微小步距控制,
使用指定驅(qū)動(dòng)器時(shí)，在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，速度的測(cè)試數(shù)據(jù)波動(dòng)低于1‰；
有非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能及超高的精度；
使用壽命超長(zhǎng)，長(zhǎng)時(shí)間免維護(hù)使用。
| 參數(shù)/型號(hào) | MMS42 | ||
| 電機(jī)類(lèi)型 | 音圈電機(jī) | ||
| 光柵類(lèi)型 | 增量式光柵0.1μm(可選最高1nm光柵，絕對(duì)值選配) | ||
| 電機(jī)推力 | 額定1N；峰值2.5N | ||
| 加速度（空載） | 4G | ||
| 材質(zhì) | 鋁合金6016-T6（可選不銹鋼） | ||
| 行程 mm | 20 | ||
| 最小步長(zhǎng) nm | 20nm（光柵分辨率高于4.88nm） | ||
| 定位精度 μm | ±1μm(校準(zhǔn)±0.5μm） | ||
| 重復(fù)定位精度 μm | ±0.1μm(±50nm對(duì)應(yīng)5nm以上光柵） | ||
| 最大速度 mm/s | 200 mm/s | ||
| 最大負(fù)載 kg | 1kg | ||
