U1LM200為單軸平臺,由直線電機+光柵+精密導軌組成
U1LM200為單軸直線運動平臺
采用有鐵芯直線電機,推力大,載荷高;
光柵反饋,提升平臺控制精度;
密閉的平臺,增強使用安全性;
應用于:電子加工,半導體加工等行業(yè)
參 數(shù) | U1LM200-100 | -200 | -300 | -400 | -500 | -600 | -800 |
有效行程 mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 800 |
光柵分辨率 nm | 100nm (數(shù)字量標配)可選配其他型號光柵分辨率或1vpp 模擬量 | ||||||
重復定位精度 nm | ≤±0.5μm | ||||||
定位精度 | 未校準±4μm/100mm(校準后可小于±1.5μm) | ||||||
直線度 um | ±1.5 | ±2.5 | ±3.5 | ±4 | ±5 | ±6.5 | ±8 |
平面度 um | ±1.5 | ±2.5 | ±3.5 | ±4 | ±5 | ±6.5 | ±8 |
電機推力 | 持續(xù)132N/峰值232N | ||||||
最大速度 | 2m/s | ||||||
最大加速度(空載) | 3G | ||||||
移動部分負載 kg | 6.5kg | ||||||
水平負載 kg | 40kg | ||||||
側(cè)面負載 kg | 20kg |