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U1LM200-XX系列直線電機平臺

U1LM200為單軸平臺,由直線電機+光柵+精密導軌組成

U1LM200為單軸直線運動平臺

采用有鐵芯直線電機,推力大,載荷高;

光柵反饋,提升平臺控制精度;

密閉的平臺,增強使用安全性;

應用于:電子加工,半導體加工等行業(yè)

參     數(shù)
U1LM200-100-200-300-400-500-600-800
有效行程 mm100200300400500600
800
光柵分辨率 nm100nm (數(shù)字量標配)可選配其他型號光柵分辨率或1vpp 模擬量
重復定位精度 nm≤±0.5μm
定位精度未校準±4μm/100mm(校準后可小于±1.5μm)
直線度 um±1.5±2.5±3.5±4±5±6.5±8
平面度 um±1.5±2.5±3.5±4±5±6.5±8
電機推力持續(xù)132N/峰值232N
最大速度2m/s
最大加速度(空載)3G
移動部分負載 kg6.5kg
水平負載 kg40kg
側(cè)面負載 kg20kg



圖片2.png