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U1LM240-XX系列直線電機(jī)平臺(tái)

U1LM240為單軸平臺(tái),由直線電機(jī)+光柵+精密導(dǎo)軌組成

U1LM240為單軸直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

采用有鐵芯直線電機(jī),推力大,載荷高;

光柵反饋,提升平臺(tái)控制精度;

密閉的平臺(tái),增強(qiáng)使用安全性;

相比于U1LM200系列,此款電機(jī)具有更大的推力,更快的及速度,及更大的負(fù)載,滿足客戶比較大負(fù)荷的需求;

應(yīng)用于:電子加工,半導(dǎo)體加工等行業(yè)。


參     數(shù)
U1LM240-100-200-300-400-500-600-800
有效行程 mm100200300400500600
800
光柵分辨率 nm100nm (數(shù)字量標(biāo)配)可選配其他型號(hào)光柵分辨率或1vpp 模擬量
重復(fù)定位精度 nm≤±0.5μm
定位精度未校準(zhǔn)±4μm/100mm(校準(zhǔn)后可小于±1.5μm)
直線度 um±1.5±2.5±3.5±4±5±6.5±8
平面度 um±1.5±2.5±3.5±4±5±6.5±8
電機(jī)推力持續(xù)220N/峰值400N
最大速度2m/s
最大加速度(空載)5G
移動(dòng)部分負(fù)載 kg8kg
水平負(fù)載 kg50kg
側(cè)面負(fù)載 kg25kg




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