U1LM200為單軸平臺，由直線電機(jī)+光柵+精密導(dǎo)軌組成
U1LM320為單軸直線運(yùn)動(dòng)平臺
采用有鐵芯直線電機(jī)，推力大，載荷高；
光柵反饋，提升平臺控制精度；
密閉的平臺，增強(qiáng)使用安全性；
相比于U1LM240系列，此款電機(jī)具有更大的推力，更快的及速度，及更大的負(fù)載，滿足客戶比較大負(fù)荷的需求；
應(yīng)用于：電子加工，半導(dǎo)體加工等行業(yè)。
| 參 數(shù) | U1LM320-100 | -200 | -300 | -400 | -500 | -600 | -800 |
| 有效行程 mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 800 |
| 光柵分辨率 nm | 100nm （數(shù)字量標(biāo)配）可選配其他型號光柵分辨率或1vpp 模擬量 | ||||||
| 重復(fù)定位精度 nm | ≤±0.5μm | ||||||
| 定位精度 | 未校準(zhǔn)±4μm/100mm（校準(zhǔn)后可小于±1.5μm） | ||||||
| 直線度 um | ±1.5 | ±2.5 | ±3.5 | ±4 | ±5 | ±6.5 | ±8 |
| 平面度 um | ±1.5 | ±2.5 | ±3.5 | ±4 | ±5 | ±6.5 | ±8 |
| 電機(jī)推力 | 持續(xù)330N/峰值660N | ||||||
| 最大速度 | 2m/s | ||||||
| 最大加速度（空載） | 5G | ||||||
| 移動(dòng)部分負(fù)載 kg | 12kg | ||||||
| 水平負(fù)載 kg | 50kg | ||||||
| 側(cè)面負(fù)載 kg | 25kg | ||||||
